Dr.-Ing. Sergej Fatikow, Univeristät Gesamthochschule Kassel, Leiter des Institutes für Regelungs- und Automatisierungstechnik im Fachbereich Elektrotechnik.

Die Mikrosystemtechnik (MST) besteht in der Regel aus verschiedenartigen, z. B. mechanischen, optischen oder elektronischen Komponenten, die sehr genau und auf kleinstem Raum zusammengefügt werden müssen. Markante Beispiele sind Abtastköpfe für CD-Spieler, mikrooptische und -optoelektronische Bausteine für Kommunikationssysteme oder Mikrosensoren.

Das vorliegende Buch liefert zum ersten Mal eine systematisierte Gesamtsicht auf die Mikromontage- und Mikroroboterproblematik. Der Leser kann auch ohne mathematischen Aufwand den Stoff erarbeiten.

1: Einführung in das Themengebiet.- 1.1 Mikrosystemtechnologie.- 1.2 Komponenten eines Mikrosystems.- 1.3 Techniken der Mikrosystemtechnologie.- 1.4 Einführung in die Mikrorobotik.- 1.5 Anwendungen der Mikrosystemtechnologie und Mikrorobotik.- 1.6 Einführung in die Mikromontage.- 1.7 Überblick über die Arbeit.- 2: Montage von Mikrosystemen.- 2.1 Einführung.- 2.2 Probleme der Mikromontage.- 2.3 Konzepte der Mikromontage.- 2.4 Konzept einer flexiblen mikroroboterbasierten Montagestation.- 3: Komponenten einer flexiblen mikroroboterbasierten Montagestation (FMMS).- 3.1 Mikroroboter.- 3.2 Stationssensoren.- 3.3 Planung und Steuerung einer FMMS.- 3.4 Mikroroboter-Steuerung.- 3.5 Stationsperipherie.- 4: Aktuationsprinzipien der Mikrorobotik.- 4.1 Einführung.- 4.2 Elektrostatische Mikroaktoren.- 4.3 Piezoelektrische Mikroaktoren.- 4.4 Magnetostriktive Mikroaktoren.- 4.5 Elektromagnetische Mikroaktoren.- 4.6 Formgedächtnis-Mikroaktoren.- 4.7 Thermomechanische Mikroaktoren.- 4.8 Elektrorheologische Mikroaktoren.- 4.9 Hydraulische/pneumatische Mikroaktoren.- 4.10 Chemomechanische Mikroaktoren.- 5: Aufbau flexibler Mikroroboter.- 5.1 Einführung.- 5.2 Aufbau einer Positioniereinheit.- 5.3 Aufbau einer Mikromanipulationseinheit.- 5.4 Mikrogreifer.- 5.5 Integrierte Mikrosensoren (Robotersensoren).- 5.6 Rechnergestützter Entwurf in der Mikrorobotik.- 6: Mikromontageplanung in einer FMMS.- 6.1 Einführung.- 6.2 Mikromontage-Modell.- 6.3 Ermittlung korrekter Montagefolgen.- 6.4 Bestimmung der optimalen Montagefolge.- 6.5 Dekomposition der Montagefolge in einer Mehrroboter-FMMS.- 7: Implementierung einer FMMS.- 7.1 Einführung.- 7.2 Mikroroboter.- 7.3 Steuerung der Station.- 7.4 Planungsebene der Station.- Ausblick.