Atomic Layer Processing

Semiconductor Dry Etching Technology

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Beschreibung

This practical guide, written by an author actively involved in corporate R&D, provides in-depth information on etching technologies that are used in the semiconductor industry, helping engineers to select the right technologies for their task and to design etching processes.

Artikeldetails

EAN

9783527346684

Sprache

Englisch

Einband / Art

Taschenbuch

Maße

17 x 171 x 245 mm

Erscheinungsjahr

2021

Verlag / Hersteller

Wiley-VCH